(1)Cuong, N. C.; Thang, T. X.; Hoai, T. D.; Phuong, N. T.; Long, V. L. T.; Ly, T. H.; Cuong, H. B.; Thanh, N. V. K. Simulation and Analysis of a Novel Micro-Beam Type of MEMS Strain Sensors. Vietnam J. Sci. Technol. 2019, 57, 762-772.