Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Cu2O bằng phương pháp lắng đọng hóa học pha hơi
Author affiliations
DOI:
https://doi.org/10.15625/0866-7144.2017-00430Keywords:
Cu2O thin film fabrication, chemical vapor depositionAbstract
Cu2O thin films are widely used in many fields such as: solar panel, catalysts for chemical reactions, especially in the field of electronics. Cu2O thin films manufacture by vapor phase deposition methods chemical. This is the method by which solid material, is deposited from the vapor phase, through the the chemical reaction, near the surface to be heated. Obtained in the form of solids coatings, powder or the the crystal form. The advantage of CVD method is able to make the thin film with evenly thickness and less porous, even when complicated shapes. In this paper is the research results on Cu2O thin films by method CVD from Cu(Acac)2. XRD and SEM research showed that Cu2O crystals with cubic structure, temperature affects the surface states of thin films.
Keywords. Cu2O thin film fabrication, chemical vapor deposition.Downloads
References
Yakup Hame, S. Eren San. CdO/Cu2O solar cells by chemical deposition, Solar Energy, 77, 291-294 (2004).
Yiwen Tang, Zhingang Chen, Zhijie Jia, Lisha Zhang, Jialin Li. Electrodeposition and characterization of nanocrystalline cuprous oxide thin film on TiO2 films, Materials Letters, 59, 434-438 (2005).
Shi Qiujie, Liu Ning, Liang Yi. Preparation of MgO-Supported Cu2O Catalyst and Its Catalytic Properties for Cyclohexanol Dehydrogenation, Chinese Journal of Catalysis, 28, 57-61 (2007).
Waechtler T., Oswald S., Roth N., Jakob A., Lang H., Ecke R., Schulz S. E. Copper Oxide Films Grown by Atomic Layer Deposition from Bis(tri-n-butylphosphane) Copper(II) Acetylacetonate, Journal of the Electrochemical Society, 156, 453-459 (2009).
Manisha Shirodker, Vrinda Borker, C. Nather, W. Bensch, K. S. Rane. Synthesis and structure of tris (acetylacetonato) aluminium (III), Indian Journal of Chemistry, 49, 1607-1611 (2010).
Lê Văn Huỳnh. Luận án Tiến sĩ Hóa học, Trường Đại học Bách khoa Hà Nội (2012).
Xiangcheng Li, Aiping Chen, Hua Long, Yuhua Li, Guang Yang, Peixiang Lu. Controlled growth and characteristics of single-phase Cu2O and CuO films by pulsed laser deposition, Vacuum, 83, 927-930 (2009).
Triệu Thị Nguyệt, Nguyễn Thị Hiền Lan. Tổng hợp và nghiên cứu tính chất axetylaxetonat của một số kim loại, Tạp chí Hóa học, 49(3A), 351-355 (2011).
Triệu Thị Nguyệt, Nguyễn Thị Lụa, Nguyễn Mạnh Hùng. Khảo sát ảnh hưởng của các yếu tố đến quá trình tạo màng Cu2O từ đồng(II) axetylaxetonat, Tạp chí Hóa học, 49(3A), 111- 115 (2011).
Triệu Thị Nguyệt, Nguyễn Thị Lụa, Nguyễn Mạnh Hùng, Nguyễn Hùng Huy. Nghiên cứu khả năng tạo màng Cu2O bằng phương pháp CVD từ đồng(II) axetylaxetonat, Tạp chí Phân tích Hóa, Lí và Sinh học, 16(1), 20-24 (2011).
